相對測量的平行度。
平行平晶,以光波干涉原理為基礎，利用平行平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現的干涉條紋來測量被測量面的誤差程度。具有高精度的平面性和平行性。
|
規(guī) 格 |
精 度 |
塊數 |
|
0-25 |
0.6μm |
4 |
|
25-50 |
0.6μm |
4 |
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50-75 |
0.6μm |
4 |
|
75-100 |
1.0μm |
4 |
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